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Fabrication LTCC

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Imprimante LTCC: P200S, manufacturier : KEKO



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Perforateur LTCC: PAM4s KEKO, manufacturier : KEKO



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Découpe et ablation: Protolaser U3, manufacturier : LPKF



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Découpeuse: CM-15A, manufacturier : KEKO



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Empileur LTCC: IS4PL KEKO, manufacturier : KEKO



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Presse Isostatique: ILS66S KEKO, manufacturier: KEKO



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Four de frittage: PEO603, manufacturier ATV

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Fabrication MEMS

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Déposition par plasma: SPT-330H, manufacturier : Plasmionique


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Aligneur de masque: 800MBA, manufacturier : OAI


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Wet bench avec générateur d’eau DI, manufacturier: STC


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Déposition de résine: WS-400BZ-6NPP/LITE, manufacturier: Laurell


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Système d'exposition directe: SF100, manufacturier: Intelligent Micro patterning


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Système de gravure par faisceau d'Ion ou d'Ion réactif: Nanoquest I, manufacturier: Intelvac



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Polisseuse mécanique chimique: RBPo-6, manufacturier: Rtec Instruments