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L'ÉTS vous donne rendez-vous à sa journée portes ouvertes qui aura lieu sur son campus à l'automne et à l'hiver : Samedi 18 novembre 2023 Samedi 17 février 2024 Le dépôt de votre demande d'admission à un programme de baccalauréat ou au cheminement universitaire en technologie sera gratuit si vous étudiez ou détenez un diplôme collégial d'un établissement québécois.

Événements à venir

LTCC@ÉTS

Présentation du laboratoire LTCC@ÉTS

Le laboratoire LTCC@ÉTS est une installation de calibre industriel qui possède les infrastructures et les logiciels de pointe nécessaires à la conception et la fabrication de circuits LTCC et MEMS.

Le procédé LTCC, pour Low Temperature Co-fired Ceramic, est une technologie permettant de produire à faible coût des circuits en céramique multicouches en utilisant des bandes souples sur lesquelles on peut appliquer des conducteurs, des diélectriques ou des pâtes résistives.

Notre procédé MEMS, pour Micro-Electro-Mecanical System, vous permettra de fabriquer des capteurs ou des actionneurs selon vos exigences.

Expertises et services offerts

Le laboratoire LTCC@ÉTS peut vous aider dans les domaines suivants :

Le procédé LTCC de l'ÉTS, le premier de ce genre au Canada, permet le prototypage et la production à faible volume de circuits multicouches en céramique.

Grâce aux matériaux céramiques utilisés et à la capacité inhérente au processus LTCC pour l'intégration des circuits en 3D, cette technologie offre de multiples avantages :

  • d'excellentes performances en micro-ondes et en ondes millimétriques;
  • une grande miniaturisation de circuits et une forte densité d'intégration;
  • la possibilité d'intégration de boîtier à même le processus de fabrication de circuits (system in package);
  • une grande stabilité thermique permettant le fonctionnement fiable de circuits dans des conditions environnementales difficiles;
  • une excellente herméticité sans absorption d'eau pour une opération fiable en milieu humide.

Voici des documents que vous pouvez télécharger :

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Nous pouvons vous aider à concrétiser votre idée, du développement du concept à la conception, la modélisation et la fabrication de prototypes, en utilisant nos outils de haute technologie.

Au cours de la phase de développement du concept, nous pouvons vous assister dans :

  • la conception initiale, incluant la conception de masque, et la conception préliminaire du processus de fabrication de votre dispositif pour l'application désirée;
  • l'analyse de la conception du dispositif et des approches de fabrication, ainsi qu'à chaque étape du procédé;
  • l'élaboration d'un calendrier et d'un budget réalistes.

Dans vos efforts de conception et de modélisation de votre dispositif MEMS, nous pouvons vous aider dans les domaines suivants :

  • Le développement d'un ensemble de modèles, de séquences préliminaires de processus et d'un ensemble de masques du prototype.
  • La création et l'affinement des modèles de conception de dispositifs analytiques et/ou numériques (par exemple, des éléments finis et/ou des éléments de frontière) pour permettre une prédiction précise du comportement physique de votre dispositif MEMS.
  • La conception des structures de test pour mesurer avec précision les propriétés des matériaux utilisés dans le processus de fabrication.

Dans vos efforts de prototypage de dispositif MEMS, nous pouvons vous aider avec :

  • la sélection des meilleures étapes de traitement pour la fabrication de votre dispositif.
  • le développement de processus personnalisés, y compris les étapes du processus, les modules du processus et les séquences du processus complètes.
  • la mise en place de méthodologies d'amélioration du rendement et de la qualité.

Demandez-nous une soumission.

Infrastructure et équipements

Fabrication LTCC

Équipements

  • Imprimante LTCC : P200S
    Manufacturier : KEKO
  • Perforateur LTCC : PAM4s
    Manufacturier : KEKO
  • Découpe et ablation : Protolaser U3
    Manufacturier : LPKF
  • Découpeuse : CM-15A
    Manufacturier : KEKO
  • Empileur LTCC : IS4PL
    Manufacturier : KEKO
  • Presse isostatique : ILS66S
    Manufacturier : KEKO
  • Four de frittage : PEO603
    Manufacturier : ATV

Nous tenons à offrir un site Web accessible à l’ensemble des utilisateurs et utilisatrices. Si vous éprouvez des difficultés à consulter ce contenu en raison de problèmes d’accessibilité, veuillez communiquer avec le laboratoire.

Fabrication MEMS

Nous tenons à offrir un site Web accessible à l’ensemble des utilisateurs et utilisatrices. Si vous éprouvez des difficultés à consulter ce contenu en raison de problèmes d’accessibilité, veuillez communiquer avec le laboratoire.

Équipements

  • Déposition par plasma : SPT-330H
    Manufacturier : Plasmionique
  • Aligneur de masque : 800MBA
    Manufacturier : OAI
  • Wet bench avec générateur d'eau DI
    Manufacturier : STC
  • Déposition de résine : WS-400BZ-6NPP/LITE
    Manufacturier : Laurell
  • Système d'exposition directe : SF100
    Manufacturier : Intelligent Micro patterning
  • Système de gravure par faisceau d'ion ou d'ion réactif : Nanoquest I
    Manufacturier : Intelvac
  • Polisseuse mécanique chimique : RBPo-6
    Manufacturier : Rtec Instruments

L'équipe du LTCC@ÉTS

Ammar B. Kouki

Professeur

Département de génie électrique

Directeur du LTCC@ÉTS

Gravel normand

Normand Gravel

Gestionnaire du laboratoire et technicien

normand.gravel@etsmtl.ca
Belhadj mustapha ltcc

Mustapha Belhadj

Technicien d'application technologique

mustapha.belhadj@etsmtl.ca
Ines amor ltcc

Ines Amor

Doctorante et responsable de la salle blanche MEMS

ines.amor@lacime.etsmtl.ca

Étudiantes et étudiants

  • Madiha Achouri (maîtrise)
  • Ines Amor (doctorat)
  • Charazad Bensid (maîtrise)
  • Mustafa Elarbi (maîtrise)
  • Ehsan Fallahnia (doctorat)
  • Sabrine Idoudi (doctorat)
  • Mehdi Khoee-Kholenjani (doctorat)
  • Zina Mohamed (doctorat)

Nos projets de recherche

Un projet de Dorra Bahloul

Dorra Bahloul est doctorante au Département de génie électrique de l'ÉTS, où elle a commencé ses études de maîtrise. Ses intérêts de recherche portent sur le développement de composants et de systèmes RF et micro-ondes reconfigurables, avec un accent particulier mis sur les technologies MEMS et LTCC. Elle travaille au développement de fabrication MEMS directement sur substrat LTCC.

Ce processus sera ensuite utilisé pour le développement de nouveaux types de composants RF adaptatifs et miniaturisés avec des performances RF améliorées. Un amplificateur agile, où les différents blocs de clés tels que les réseaux ainsi que les circuits de commande correspondants et les structures de gestion thermique sont formés sur le même substrat multicouche LTCC, est une application potentielle de ce travail.

Un projet de Mustafa Elarbi

Avec l'utilisation et la popularité en hausse des téléphones portables, des ordinateurs portables et des équipements mobiles électroniques similaires, il existe un besoin grandissant de vitesses opérationnelles plus rapides. En même temps, une quantité croissante d'énergie est utilisée. La façon de satisfaire ces besoins en prolongeant la durée de vie de la batterie est actuellement un axe majeur de recherche. Les amplificateurs de puissance (AP) sur les appareils sans fil causent des problèmes sans fin pour les utilisateurs d'équipement de télécommunication sans fil en raison de leur consommation sur le système d'alimentation.

Les chercheurs et chercheuses travaillent également sur des moyens d'augmenter l'efficacité de la puissance opérationnelle ajoutée (ou PAE, en anglais) dans les amplificateurs. Avec le PAE augmenté, l'appareil est capable de produire la même quantité de puissance avec moins d'énergie CC consommée. Les amplificateurs de puissance non linéaires de classe F et de classe F1 ont attiré le plus d'attention parmi les différentes classes de AP en raison de leur capacité à produire une puissance élevée et à fournir de bonnes PAE. La classe F augmente le PAE en contrôlant le contenu harmonique à la sortie. Advanced Design System (ADS) d'Agilent a été utilisé pour la conception et la simulation de l'amplificateur de puissance de classe F basé sur le modèle ADS du transistor à haute mobilité électronique (HEMT) CGHV1J006D de Cree. L'amplificateur de puissance à haut rendement est fabriqué en procédé LTCC. Dans cette conception, les harmoniques à l'entrée sont contrôlées ainsi que les harmoniques à la sortie. Un réseau de modelage d'onde d'entrée est conçu pour façonner les formes d'onde à la grille du transistor. En terminant les harmoniques avec des impédances appropriées à la sortie, une forme d'onde de tension carrée et une forme d'onde de demi-sinus sont obtenues à la borne de drain du transistor. La zone de chevauchement entre les formes d'onde de tension et de courant peut être réduite ainsi que la consommation d'énergie du dispositif actif. La conception finale fonctionnant à 5 GHz a produit un PAE de 72 % avec une puissance de sortie de 38.50 dBm en simulation et je suis encore en train de mesurer les résultats de la fabrication.

Un projet de Hana Mohamed

The research focus on the embedded system for RF vector measurements in frequency agile and reconfigurable Front-Ends to be tuned and operate at the frequency of choice. This technique realise on measuring the amplitude and phase of two RF signals through two power detector circuits using four-port reflectometer which simulated by HFSS and fabricated by using LTCC martial. The proposed reflectometer consists of TL transmission line which connected to port 1 (source) and port 2 (load), two vais (implement the sniffers) that placed close to TL and separated by the distance d, and two power detecting circuits (LTC558) which are placed at port 3 and 4 respectively. This reflectometer characterized by very small size and very low coupling (below -30 dB) so that become suitable for circuit integration and embedded measurement. This topology can be integrated in different application such as Six-port Technique and Monolithically Gain Phase Detection which require using directional coupler to sample the two waves for which the complex ratio is to be measured.

Un projet de Madiha Achouri

Nowadays, location-based services are integral part of everyday life. In addition, there are more and more GNSS constellations being deployed. This will help improve the accuracy and precision of positioning from some meters to some centimeters, in real-time and at any point on the Earth or on space. This involves sophisticated GNSS receivers which in turn require GNSS simulators able to generate a large number of GNSS signals from a variety systems, such as GPS, Glonass, Galileo, Compass (Beidou-2), QZSS etc., and their multipath components. In this context, simulators that use dedicated hardware, such as FPGAs, become too costly and may even not be feasible. This project will target ways to leverage the full power of commercial CPUs and GPUs to address this challenge. In order to accomplish this, issues related to computer hardware resource management, operating systems interrupts and constraints as well as software/hardware co-design will be investigated.

Partenaires

Les membres du laboratoire LTCC@ÉTS sont activement impliqués dans différents projets en collaboration étroite avec des partenaires industriels et universitaires.

  • Vibrantz (auparavant Ferro) : soutient l'innovation LTCC en mettant à notre disposition le système A6M et L8.
  • C12 Advanced Technologies : fournit des feuilles de carbone et des feuilles de séparation poudreuse.

Nous joindre

École de technologie supérieure
1100, rue Notre-Dame Ouest, local A-2544
Montreal (Québec)
Canada H3C 1K3

Ammar B. Kouki, directeur du LTCC
514 396-8554
ammar.kouki@etsmtl.ca

Normand Gravel, gérant du laboratoire, production LTCC-MEMS
514 396-8800 p.7309
normand.gravel@etsmtl.ca

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